расширенный поиск

Книга: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие для вузов

Товар № 11096315
Автор: Белов А., Гаврилов С.
Издательство: Юрайт
Вес: 0.360 кг.
Год издания: 2014
Формат: 20.6 x 13.4 x 1.5
Страниц: 258 Переплет: Твердый переплет
Товар отсутствует
Узнать о поступлении

Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. .Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. .Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров. . . . . . . . . . . . . . . . . .

Читать далее