Книга: Введение в современную микро- и наносистемную технику

Раскрыто основное содержание понятий "микросистема" и "микросистемная техника". В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 "Приборостроение" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.